张国玲
作品数: 3被引量:0H指数:0
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:化学工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王立发
作品数:29被引量:44H指数:4
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 T/R组件 硬盘基板
唐文栋
作品数:9被引量:21H指数:2
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 硬盘基板 化学机械抛光 粗糙度 浆料
田军
作品数:14被引量:7H指数:2
供职机构:河北工业大学
研究主题:硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
刘玉岭
作品数:481被引量:759H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI