胡冬冬
作品数: 9被引量:9H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

夏洋
作品数:500被引量:53H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
席峰
作品数:27被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:启辉 电极 等离子体 等离子刻蚀 进气结构
李楠
作品数:131被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
刘训春
作品数:105被引量:92H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
张庆钊
作品数:48被引量:26H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极