-
胡光伟
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李志坚
- 作品数：244被引量：483H指数：9
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
- 研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
- 刘泽文
- 作品数：197被引量：154H指数：6
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
- 侯智昊
- 作品数：10被引量：25H指数：3
- 供职机构：南京电子器件研究所
- 研究主题：RF_MEMS开关 MEMS开关 毫米波 开关 射频微机电系统开关
- 刘理天
- 作品数：623被引量：885H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
- 张忠惠
- 作品数：1被引量：0H指数：0
- 供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
- 研究主题：MEMS开关 氮氧化硅 PECVD 接触式开关 低应力
