胡松
作品数: 469被引量:436H指数:8
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

赵立新
作品数:228被引量:71H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
严伟
作品数:147被引量:121H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
唐燕
作品数:108被引量:41H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
刘俊伯
作品数:97被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
唐小萍
作品数:122被引量:327H指数:10
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机