-
郭本银
-
-
- 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 所在地区:吉林省 长春市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 金春水
- 作品数：356被引量：268H指数：8
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
- 王丽萍
- 作品数：147被引量：123H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
- 周烽
- 作品数：106被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
- 谢耀
- 作品数：96被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
- 王辉
- 作品数：108被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题：光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
- 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置
- 一种用于真空环境下的光学元件水冷装置，属于真空环境下光学元件的热变形控制技术领域，涉及一种用于真空环境下的光学元件水冷装置。本发明能够解决真空环境下光学元件的散热问题，同时能够使光学元件更快的达到热平衡。本发明包括背部压...
- 周烽王辉郭本银谢耀王丽萍金春水
- 文献传递
- 一种光学元件表面粗糙度加工装置
- 本发明适用于光学元件加工领域，公开了一种光学元件表面粗糙度加工装置，包括配置有抛光液的存储槽、承载有待加工光学元件的承载组件、用于对待加工光学元件表面粗糙度加工的抛光组件、以及施压组件，抛光组件包括抛光轮和用于驱动抛光轮...
- 郭本银张海涛金春水
- 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置
- 一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置属于光学元件高精度面形调整技术领域，目的在于解决现有技术存在的检测支撑结构不能满足实现超高精度的面形收敛性的要求。本发明的一种用于高精度光学元件面形检测的柔性支撑装置包括支撑单...
- 王辉周烽郭本银谢耀王丽萍金春水
- 文献传递
- 一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置
- 一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置，属于加工、检测工艺技术领域，涉及一种基于柔性片体和球面轴承的可升降倾斜调整装置。本发明能够同时实现高度的升降和倾斜的调整，结构紧凑，减轻了重量和节省了空间，减少了误差积累，...
- 郭本银苗亮刘钰王辉周烽王丽萍谢耀金春水
- 文献传递
- 一种沥青抛光装置
- 本申请属于光学元件加工领域，提供一种沥青抛光装置，包括主轴主体、旋转主轴、夹紧结构、气囊单元、偏心运动单元和摆动机构，所述主轴主体设置在所述旋转主轴的一端，所述夹紧结构设置在旋转主轴上，所述气囊单元设置在旋转主轴的另一端...
- 张海涛毕春利郭本银金春水
- 文献传递
- 一种干涉测量系统成像畸变标定装置
- 一种干涉测量系统成像畸变标定装置，属于光学元件面形干涉测量技术领域，涉及一种干涉测量系统成像畸变标定装置。本发明能够在未知干涉测量系统光学设计参数的前提下，实现高精度被测试光学元件的非接触无损伤原位检测，得出干涉测量系统...
- 张文龙苗亮刘钰王辉周烽郭本银马冬梅金春水
- 文献传递
- 一种用于支撑光学元件的装置
- 本发明提供了一种用于支撑光学元件的装置，包括水平布置的基座(21)和位于基座(21)上方的环形体(22)，环形体(22)的下端面具有多个绕轴线均匀分布的支腿(221)，支腿(221)与基座(21)固定连接，环形体(22)...
- 周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
- 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法
- 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法属于光学系统集成领域，该方法是根据初始时刻和待评估时刻光学系统的波面偏差解算系统失调量，根据系统失调量调整相应补偿器，将调整后系统与初始时刻的系统波面偏差作为是否完成稳定...
- 谢耀王丽萍金春水于杰王辉周烽郭本银王君
- 文献传递
- 检测平台姿态变化的方法
- 本发明检测平台姿态变化的方法，属于精密检测技术领域，解决了现有技术测量范围有限、布局受限、姿态变化方向不明确的技术问题；本发明在被检测平台上均布三个检测点，通过监测其位移变化，在空间坐标系中利用向量的叉乘等运算得到平台在...
- 郭本银苗亮刘钰王辉周烽王丽萍谢耀
- 文献传递
- 一种用于真空环境下的光学元件热应力评估系统
- 一种用于真空环境下的光学元件热应力评估系统，属于光学元件热应力控制相关技术领域，为了解决真空环境下对光学元件进行热应力评估的问题，该系统的石英加热管热辐照到光学元件上，在不同的时刻利用非接触式红外测温仪和干涉仪通过窗口玻...
- 周烽王辉郭本银谢耀王丽萍
- 文献传递
