冯鹏
作品数: 43被引量:17H指数:3
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数:823被引量:1,326H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
唐锋
作品数:217被引量:96H指数:6
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
郭福东
作品数:43被引量:28H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 子孔径拼接 运动控制器 波像差 电机驱动器
卢云君
作品数:71被引量:25H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波像差 干涉仪 剪切干涉 光栅 投影物镜
刘洋
作品数:236被引量:468H指数:11
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光纤激光器 激光器 望远镜 相干合成 光谱数据