陈道坤
作品数: 11被引量:2H指数:1
  • 所属机构:中山大学
  • 所在地区:广东省 广州市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

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冷阴极在X射线源中有重要应用.本文结合微加工技术和磁控溅射镀膜技术,采用直接热氧化法实现了在玻璃衬底上大面积定域制备氧化钨(WO3)纳米线阵列.制备所得的WO3纳米线具有较大的长径比.场发射特性测试表明,该WO3纳米线冷...
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2015年
冷阴极在X射线源中有重要应用。本文结合微加工技术和磁控溅射镀膜技术,采用直接热氧化法实现了在玻璃衬底上大面积定域制备氧化钨(WO3)纳米线阵列。制备所得的WO3纳米线具有较大的长径比。场发射特性测试表明,该WO3纳米线冷阴极具有良好的场发射特性,开启电场为4.9V/μm,发射均匀性好,有望应用在平板X射线源中。
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自对准聚焦结构的纳米线冷阴极电子源阵列及其制作方法
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ZnO纳米线具有优良的场发射特性,在大面积平板电子源具有重要应用前景.其中,使用ZnO纳米线冷阴极的平板X射线源具有低功耗、寿命长、体积小和可寻址等优点,有望实现产业化.在本研究中,我们采用热氧化技术制备了大面积均匀的Z...
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本发明公开了自对准聚焦结构的纳米线冷阴极电子源阵列及其制作方法。该电子源阵列结构包括衬底,制作在衬底上平行排列的底部阴极电极条和底部栅极电极条,覆盖在上述电极条上的绝缘层,制作在绝缘层上方通过绝缘层上刻蚀通孔与底部相应电...
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