刘琛
作品数: 80被引量:4H指数:1
  • 所属机构:杭州士兰集成电路有限公司
  • 所在地区:浙江省 杭州市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

季锋
作品数:102被引量:2H指数:1
供职机构:杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题:空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
刘慧勇
作品数:27被引量:3H指数:1
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:发射区 外延层 功率半导体器件 IGBT器件 介质层
范伟宏
作品数:19被引量:3H指数:1
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:硅片 惯性传感器 深槽 传感器结构 布线
饶晓俊
作品数:14被引量:1H指数:1
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:外延层 磁阻 布线 惯性传感器 各向异性磁阻传感器
孙福河
作品数:18被引量:0H指数:0
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:传动装置 差分式 MEMS器件 可变电容器 牺牲层