史彦慧
作品数： 8被引量：0H指数：0
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:石油与天然气工程

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吴仪
作品数：163被引量：3H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
冯晓敏
作品数：17被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
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