-
董立松
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 韦亚一
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:190被引量:31H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 掩模 版图 光源 光刻工艺
- 李艳秋
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:438被引量:332H指数:11
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
- 马旭
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:92被引量:10H指数:2
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:光刻系统 成像模型 光源 掩模 矢量
- 张利斌
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:83被引量:4H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 掩模 光源 线条 套刻
- 粟雅娟
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:62被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底