刘冰杰
作品数: 4被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:上海市科学技术委员会资助项目

相关作者

顾杰斌
作品数:19被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:喷嘴 液态金属 紧贴 微孔 通孔
李昕欣
作品数:545被引量:382H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
杨恒
作品数:151被引量:138H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻