贾亚男
作品数: 38被引量:2H指数:1
  • 所属机构:中国建筑材料科学研究总院
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:化学工程
  • 发文基金:国际科技合作与交流专项项目

相关作者

向在奎
作品数:96被引量:59H指数:4
供职机构:中国建筑材料科学研究总院
研究主题:石英玻璃 合成石英玻璃 反射镜 氟气 抗酸性
聂兰舰
作品数:64被引量:35H指数:2
供职机构:中国建筑材料科学研究总院
研究主题:石英玻璃 氟气 抗酸性 疏松 网络
王蕾
作品数:50被引量:29H指数:2
供职机构:中国建筑材料科学研究总院
研究主题:石英玻璃 氟气 抗酸性 网络 掺杂
王慧
作品数:82被引量:67H指数:5
供职机构:中国建筑材料科学研究总院
研究主题:石英玻璃 氟气 抗酸性 光学均匀性 网络
邵竹锋
作品数:56被引量:25H指数:3
供职机构:中国建筑材料科学研究总院
研究主题:石英玻璃 反射镜 氟气 抗酸性 网络
退火对石英玻璃假想温度的影响
石英玻璃的假想温度作为结构弛豫的表征,对石英玻璃相关性能产生影响,假想温度值受热处理工艺的影响,可通过红外光谱法测量。退火作为石英玻璃热处理的主要工艺,对应力、结构等存在影响,通过调节退火过程的工艺参数,可以影响石英玻璃...
贾亚男王玉芬饶传东向在奎王慧聂兰舰王宏杰
关键词:石英玻璃退火
文献传递
高性能光学合成石英玻璃的制备和应用
高性能光学合成石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学合成石英玻璃制...
聂兰舰王玉芬向在奎饶传东王慧邵竹锋王蕾刘飞翔贾亚男符博
关键词:化学气相沉积
文献传递
石英玻璃的制备方法及石英玻璃
本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
聂兰舰向在奎贾亚男王蕾邵竹锋王慧张辰阳符博王玉芬
文献传递
反射镜及其制备方法
本发明公开了一种反射镜及其制备方法,属于光学领域,其中,制备方法包括如下步骤:备料:选取膨胀系数为5×10<Sup>‑7</Sup>/℃或膨胀系数≤1×10<Sup>‑7</Sup>/℃的石英玻璃作为坯料;制备第一玻璃板...
邵竹锋向在奎饶传东符博贾亚男王佳佳隋梅王玉芬
文献传递
制备石英玻璃的烧结装置及系统
本发明是关于一种制备石英玻璃的烧结装置及系统,涉及石英玻璃制备领域,主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生,以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。制备石英玻璃的烧结装置包括:炉体,炉体上还具连通烧结...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
文献传递
石英玻璃微缺陷检测方法
本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法,包括如下步骤:将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光;将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀;石英玻璃样品腐蚀0.5~2小时取出并用去离子水清洗干净,利用显微镜观察检测石英玻璃样品;...
聂兰舰向在奎杜秀蓉张晓强王蕾王慧刘飞翔贾亚男符博
卤素对石英玻璃的影响被引量:1
2018年
石英玻璃以其优越的物理、化学性能被广泛应用于航空、航天及各高新技术领域,而卤素的存在会对石英玻璃的性能产生影响。卤素对石英玻璃的影响主要涉及氟和氯两种元素对石英玻璃结构、性能的影响两个方面,本文综合国内外关于氟和氯对石英玻璃的结构弛豫、折射率等影响的文献,归纳了卤素对石英玻璃影响的体现,论述了石英玻璃中卤素(主要是氟)的表征方法,为国内相关领域的研究提供参考。
贾亚男聂兰舰王蕾张辰阳符博
关键词:石英玻璃卤素化学性能玻璃结构结构弛豫折射率
制备石英玻璃的烧结装置及系统
本实用新型是关于一种制备石英玻璃的烧结装置及系统,涉及石英玻璃制备领域,主要目的在于避免或降低间接合成法工艺制备石英玻璃中气泡的产生,以及提高石英玻璃的烧结效率、降低成本。制备石英玻璃的烧结装置包括:炉体还具连通烧结空间...
聂兰舰向在奎饶传东王蕾刘飞翔邵竹锋王慧王宏杰贾亚男符博张辰阳王玉芬
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卤素对石英玻璃的影响
石英玻璃以其优越的物理、化学性能被广泛应用于航空、航天及各高新技术领域,而卤素的存在会对石英玻璃的性能产生影响。卤素对石英玻璃的影响主要涉及氟和氯两种元素对石英玻璃结构、性能的影响两个方面,本文综合国内外关于氟和氯对石英...
贾亚男聂兰舰王蕾张辰阳符博
关键词:石英玻璃卤素结构弛豫
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半导体刻蚀用耐久性石英玻璃制备及发展现状被引量:1
2018年
高性能石英玻璃材料及制品是半导体集成电路制造过程不可或缺的关键配套辅材.本文介绍了半导体刻蚀工艺原理、刻蚀过程用石英玻璃材料情况、在此基础上,重点介绍了国内外半导体刻蚀用耐久性石英玻璃掺杂元素种类、含量、熔制工艺等制备技术,以及对刻蚀速率的影响。
聂兰舰向在奎贾亚男张辰阳王蕾
关键词:半导体集成电路刻蚀速率耐久性玻璃制备