杨丹琼
作品数: 6被引量:4H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

徐静
作品数:43被引量:75H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
吴亚明
作品数:164被引量:197H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
钟少龙
作品数:40被引量:71H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
李四华
作品数:45被引量:46H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
陈志龙
作品数:4被引量:6H指数:2
供职机构:南昌理工学院
研究主题:陀螺 振弦式 MEMS加速度计 加速度计 机械噪声