-
郭智慧
-

-

- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家重大科学仪器设备开发专项
相关作者
- 钟少龙

- 作品数:40被引量:71H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
- 龙亮

- 作品数:13被引量:27H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:磁性薄膜 键合 磁场传感器 基底 闪耀光栅
- 杨恒

- 作品数:149被引量:138H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
- 李拥华

- 作品数:9被引量:9H指数:2
- 供职机构:上海大学理学院
- 研究主题:第一性原理研究 第一性原理 太阳能电池 第一性原理计算 TIO