国家自然科学基金(90307003)
- 作品数：53 被引量：166H指数：7
- 相关作者：张玉林卢文娟宋会英魏强孔祥东更多>>
- 相关机构：山东大学东营职业学院泰山学院更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程交通运输工程更多>>
- 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制
- 2006年
- 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜工作台压电陶瓷神经网络
- 微安培检测器的研制被引量：4
- 2006年
- 安培检测器的设计中,电化学池通电后产生的微电流信号极其微弱,往往淹没在噪声中很难采集识别。根据安培检测和恒电位器原理,利用数据放大器采集放大微弱信号,研制了一种新型微安培检测器。微安培检测器电路性能稳定,实验测试的结果与理论值符合很好,其中微电流测试电路不仅可应用于微安培检测器中,还可配上不同的传感器用于其它测量微弱电流信号的场合。
- 张欣张玉林伍海龙魏守水
- 关键词：恒电位器数据放大器程控电压源
- 电子束曝光机偏转系统及可动物镜分析被引量：4
- 2004年
- 电子束大扫描场偏转系统设计中 ,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础 ,以双通道扫描原理进行扫描 ,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件 ,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法。并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由该电子束曝光机试验结果表明 ,复合系统结构简单紧凑 ,像差小而可以不用动态校正。采用矢量描写电子轨迹 ,以积分式表示像差。以 0 .0 0 5rad半张角 ,5× 10 -5的高压纹波 ,5 0mm的像距 ,10mm× 10mm扫描场的边脚处 ,使动态校正前的总像差为 0 .0 3μm。
- 尹明张玉林
- 关键词：偏转系统像差动态校正光刻技术
- 电子束真空辐射固化技术基础研究被引量：7
- 2004年
- 提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述。通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-II型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS-II型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论。在此基础上使用SDS-II型曝光机在20kV的加速电压、2μC/cm2的曝光剂量下,对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验,得到了固化结构。基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性,为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法。
- 孔祥东孙晓军张玉林宋会英
- 关键词：低聚物电子束真空
- 干道交叉口交通信号的模糊控制设计被引量：6
- 2006年
- 城市主干道往往承受着巨大的交通负荷,而干道交叉路口的交通流控制效果的好坏直接影响着整个城市的交通状况.以城市主干道交叉口为研究对象,提出了一种实用的交通流模糊控制算法.在现有的模糊控制算法的基础上,增加了绿灯延时终止算法,该算法通过对绿灯延时的细微调整,防止了不必要的绿灯延时,从而利用模糊逻辑对绿信比进行了优化.仿真结果表明,该控制方法比固定配时控制方法能更好地减少行车延误时间.
- 赵建玉贾磊朱文兴杨立才
- 关键词：模糊控制交通控制仿真
- 基于测控样板的微反应槽PCR芯片阵列温度控制系统被引量：3
- 2006年
- 文章设计了内部不含温度传感元件、加热元件的低成本微反应槽聚合酶链式反应(PCR)芯片,研制了宏观集中控制与微观分散控制有机结合的PCR芯片阵列温度控制系统。宏观集中控制装置以水为传热媒质,通过特制换热器给芯片提供聚合酶链式反应所需的基本温度,在换热器每个等温区选择一个芯片充满水作为测控样板并插入微型热电偶。在柔性印刷电路板上形成与芯片阵列对应的微型加热器阵列,根据测控样板的实测数据对各芯片进行分散的温度补偿,并采用串级控制策略实现微加热器阵列与换热器之间的良好配合。
- 李现明张玉林
- 关键词：聚合酶链式反应微机电系统工业控制计算机串级控制
- 城市主干道交叉口交通流的模糊控制被引量：12
- 2004年
- 城市主干道的交通效率,从整体上影响着整个城市的交通运作效率。该文以城市中心地带主干道交叉路口为对象,进行了交通流的模糊控制研究,提出的基于闭环模糊控制算法的智能化控制策略,有效地提高了主干道交叉口相关区域内的道路使用率。
- 赵建玉贾磊王旭东
- 关键词：模糊控制交通流交通控制仿真
- 三维结构的邻近效应校正被引量：1
- 2006年
- 针对三维曝光图形的结构特点,结合重复增量扫描方式,分别从水平和深度两个方向进行邻近效应校正。水平方向通过预先建立校正过程中需要的各种规则表,使所需参数可以通过查表获得,快速、准确地实现了邻近效应校正,深度方向的校正则是从吸收能量密度与曝光剂量的关系上考虑。利用SDS-3电子束曝光机完成了校正实验。AFM图显示,邻近效应已大大降低,可满足三维加工精度的要求。所提出的扫描方式和校正方法为电子束曝光的三维加工和邻近效应校正提供了一种新方法。
- 郝慧娟张玉林卢文娟宋会英
- 关键词：图形发生器电子束光刻邻近效应校正
- 电子束曝光中电子散射模型的优化被引量：8
- 2005年
- 提出了在0.1 keV^30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案。在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确的Mott弹性散射截面。而对非弹性散射,当能量处于E0≤10 keV,10 keV20 keV时,分别采用了Joy修正的Bethe公式、通常的Bethe公式和相对论效应修正的Bethe公式来计算总能量损失率;当E0≤20 keV和E0>20 keV时,分别采用了Gryzinsky截面和Moller截面计算离散的能量损失率。发现模拟结果与实验结果很好地吻合,这比采用单一的散射模型和不考虑二次电子的Bethe公式得到的模拟结果更加符合实际的电子散射过程,其精度更高。
- 宋会英张玉林魏强孔祥东
- 关键词：电子束曝光散射模型MONTECARLO方法二次电子
- STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术被引量：2
- 2006年
- 为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差。利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果。性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s。
- 魏强张玉林郝慧娟卢文娟宋会英于欣蕾
- 关键词：电子束扫描隧道显微镜神经网络PID
