国家自然科学基金(90307003)
- 作品数：53 被引量：164H指数：7
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- 相关机构：山东大学东营职业学院泰山学院更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程交通运输工程更多>>
- 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制
- 2006年
- 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜工作台压电陶瓷神经网络
- 干道交叉口交通信号的模糊控制设计被引量：6
- 2006年
- 城市主干道往往承受着巨大的交通负荷,而干道交叉路口的交通流控制效果的好坏直接影响着整个城市的交通状况.以城市主干道交叉口为研究对象,提出了一种实用的交通流模糊控制算法.在现有的模糊控制算法的基础上,增加了绿灯延时终止算法,该算法通过对绿灯延时的细微调整,防止了不必要的绿灯延时,从而利用模糊逻辑对绿信比进行了优化.仿真结果表明,该控制方法比固定配时控制方法能更好地减少行车延误时间.
- 赵建玉贾磊朱文兴杨立才
- 关键词：模糊控制交通控制仿真
- 基于测控样板的微反应槽PCR芯片阵列温度控制系统被引量：3
- 2006年
- 文章设计了内部不含温度传感元件、加热元件的低成本微反应槽聚合酶链式反应(PCR)芯片,研制了宏观集中控制与微观分散控制有机结合的PCR芯片阵列温度控制系统。宏观集中控制装置以水为传热媒质,通过特制换热器给芯片提供聚合酶链式反应所需的基本温度,在换热器每个等温区选择一个芯片充满水作为测控样板并插入微型热电偶。在柔性印刷电路板上形成与芯片阵列对应的微型加热器阵列,根据测控样板的实测数据对各芯片进行分散的温度补偿,并采用串级控制策略实现微加热器阵列与换热器之间的良好配合。
- 李现明张玉林
- 关键词：聚合酶链式反应微机电系统工业控制计算机串级控制
- 城市主干道交叉口交通流的模糊控制被引量：11
- 2004年
- 城市主干道的交通效率,从整体上影响着整个城市的交通运作效率。该文以城市中心地带主干道交叉路口为对象,进行了交通流的模糊控制研究,提出的基于闭环模糊控制算法的智能化控制策略,有效地提高了主干道交叉口相关区域内的道路使用率。
- 赵建玉贾磊王旭东
- 关键词：模糊控制交通流交通控制仿真
- 三维结构的邻近效应校正被引量：1
- 2006年
- 针对三维曝光图形的结构特点,结合重复增量扫描方式,分别从水平和深度两个方向进行邻近效应校正。水平方向通过预先建立校正过程中需要的各种规则表,使所需参数可以通过查表获得,快速、准确地实现了邻近效应校正,深度方向的校正则是从吸收能量密度与曝光剂量的关系上考虑。利用SDS-3电子束曝光机完成了校正实验。AFM图显示,邻近效应已大大降低,可满足三维加工精度的要求。所提出的扫描方式和校正方法为电子束曝光的三维加工和邻近效应校正提供了一种新方法。
- 郝慧娟张玉林卢文娟宋会英
- 关键词：图形发生器电子束光刻邻近效应校正
- 电子束曝光中电子散射模型的优化被引量：8
- 2005年
- 提出了在0.1 keV^30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案。在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确的Mott弹性散射截面。而对非弹性散射,当能量处于E0≤10 keV,10 keV20 keV时,分别采用了Joy修正的Bethe公式、通常的Bethe公式和相对论效应修正的Bethe公式来计算总能量损失率;当E0≤20 keV和E0>20 keV时,分别采用了Gryzinsky截面和Moller截面计算离散的能量损失率。发现模拟结果与实验结果很好地吻合,这比采用单一的散射模型和不考虑二次电子的Bethe公式得到的模拟结果更加符合实际的电子散射过程,其精度更高。
- 宋会英张玉林魏强孔祥东
- 关键词：电子束曝光散射模型MONTECARLO方法二次电子
- STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术被引量：2
- 2006年
- 为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差。利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果。性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s。
- 魏强张玉林郝慧娟卢文娟宋会英于欣蕾
- 关键词：电子束扫描隧道显微镜神经网络PID
- 扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究被引量：12
- 2006年
- 提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜精密工作台神经网络PID控制自适应控制
- 低成本微反应槽PCR芯片阵列双重控制系统
- 2006年
- 设计了内部不含温度传感元件、加热元件的低成本微反应槽聚合酶链式反应(PCR)芯片,研制了宏观集中控制与微观分散控制有机结合的双重控制系统,该系统具备对PCR芯片的批量处理能力;宏观集中控制装置以水为传热媒质通过特制换热器给芯片提供聚合酶反应所需的基本温度;在柔性印刷电路板上形成与芯片阵列对应的微型加热器阵列,针对各芯片进行分散的温度补偿。
- 李现明张玉林杨东营
- 关键词：工业控制计算机
- 基于遗传算法的显影速率参数确定
- 2007年
- 为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较。结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定。该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数。
- 郝慧娟张玉林魏强卢文娟
- 关键词：最小二乘法遗传算法
