国家自然科学基金(50773091)
- 作品数：2 被引量：18H指数：2
- 相关作者：赵震声董贤子段宣明陈卫强更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 周期渐变型准金刚石结构光子晶体的双光子聚合纳米加工技术被引量：2
- 2008年
- 利用双光子聚合加工技术在低折射率材料中制备了具有宽带隙的光子晶体结构,通过递推方式获得晶格常数的最佳变化条件。通过透射及反射谱测量及时域有限差分方法证实了周期渐变的准金刚石结构的带隙展宽现象,该结果表明三维光子晶体带隙展宽可由不同晶格常数的结构叠加形成。
- 董贤子赵震声段宣明
- 关键词：光子晶体光子带隙
- 飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术及其应用被引量：16
- 2008年
- 激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域.利用激光直写技术进行材料加工时,其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制,难于进行纳米尺度的加工.飞秒脉冲激光的出现不仅为研究光与物质相互作用的超快过程提供了手段,也为发展先进的微纳米加工技术提供了不可多得的光源.近年来,作为最新的激光加工技术之一的飞秒脉冲激光多光子微纳加工技术已成为国际上研究的热点.该技术利用多光子效应和激光与物质作用的阈值效应,成功地实现了纳米尺度的激光直写加工分辨率,可望在功能性微纳器件制备等纳米技术领域发挥重要作用,具有广阔的应用前景.在2001年日本科学家利用飞秒脉冲激光双光子聚合技术首次突破衍射极限获得120nm的加工分辨率后,最近我国科学家实现了15nm线宽的纳米尺度加工分辨率.在利用多光束并行加工技术进行快速、大批量微纳结构加工的同时,最新发展的多光束组合技术实现了多部件组合加工、一次成型,解决了微尺度零部件组装难题,为微纳尺度器件及微机电系统的开发提供了具有实用化前景的加工方法与途径.利用飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术的高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点,各国科学家制备出了各种微尺度光子学器件及微机电系统,充分展示了该技术的应用前景.随着对飞秒脉冲激光与物质相互作用机理、加工技术及相关材料技术的深入研究,飞秒脉冲微纳加工技术必将获得快速发展,并在先进纳米制造领域获得新的突破.
- 董贤子陈卫强赵震声段宣明
- 关键词：飞秒脉冲激光双光子吸收微光学器件微机电系统
