国家高技术研究发展计划(2002AA404230)
- 作品数：4 被引量：10H指数：1
- 相关作者：赵湛陈绍凤秦宁张博军夏善红更多>>
- 相关机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备被引量：9
- 2003年
- 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。
- 张博军赵湛陈绍凤
- 关键词：MEMS微电子机械系统电磁执行器电铸
- 基于SU-8胶的微针执行器的研制
- 利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术...
- 秦宁赵湛张博军陈绍凤夏善红
- 关键词：SU-8胶MEMS
- 文献传递
- 气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
- 论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行嚣,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的。利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键。执行器的微针部分采用硅-氮化...
- 陈绍凤赵湛秦宁陈贤祥
- 关键词：信息采集
- 文献传递
- 气囊驱动硅微针尖阵列微量药物输送执行器的研究
- 2005年
- 论述了一种用于生化微系统中药物释放的系统,即气囊驱动微量药物输送执行器,通过此驱动系统可以达到局部输送药物的目的.利用微针阵列实行局部定时地释放药物、控制药量,微针阵列的研制是微驱动器的关键.执行器的微针部分采用硅-氮化硅-硼硅玻璃-金属(钛、镍、金)材料,利用MEMS技术研制,驱动部分利用硅-PDMS材料作气囊,主要介绍了微针的结构和气囊制作的工艺技术.气囊驱动的微执行器为生化微系统研究提供了一个技术方案,为实现局部定时释放药物、控制药量提供了可行的手段和方法.
- 陈绍凤赵湛秦宁陈贤祥
- 关键词：信息采集
- SU-8微针执行器的研究
- 2003年
- 设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器。执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等。通过外部磁场可以实现双向线性驱动。本文主要介绍了利用SU 8光刻胶材料 ,采用多级曝光实现 3D结构的工艺技术 ,研制出了微针执行器的雏形器件。微针的尺寸为 6 0 0 μm× 80 0 μm× 4 0 μm ,微针孔径截面为 2 0 μm× 2 0 μm 。
- 秦宁赵湛陈绍凤夏善红
- 关键词：电磁驱动MEMS
- 基于SU-8胶的微针执行器的研制被引量：1
- 2004年
- 利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为5 0 0 μm×6 0 μm×6 0 μm,针孔截面为2 0 μm×2 0 μm。
- 秦宁赵湛张博军陈绍凤夏善红
- 关键词：MEMS
