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上海市青年科技启明星计划(02QE14018)
作品数:
2
被引量:13
H指数:1
相关作者:
王林军
张明龙
夏义本
沈沪江
方志军
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相关机构:
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发文基金:
上海市青年科技启明星计划
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“上海-应用材料研究与发展”基金
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年份
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2004
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金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料的介电特性和热学性能研究
被引量:12
2004年
研究了金刚石膜/氧化铝陶瓷复合材料作为超高速、大功率集成电路封装基板材料的可行性。采用电容法测量了复合材料的介电性质,结果表明在氧化铝上沉积金刚石膜,能有效降低基片材料的介电系数。碳离子预注入处理使介电损耗降低(从5×10-3降低到2×10-3),且频率稳定性更好。金刚石膜的沉积可明显提高基片的热导率,随着薄膜厚度的增加,复合材料的热导率单调递增。当薄膜厚度超过100μm时复合材料的介电系数下降到6.5、热导率上升至3.98W/cm·K,热导率接近氧化铝的20倍。
王林军
方志军
张明龙
沈沪江
夏义本
关键词:
金刚石膜
氧化铝陶瓷
集成电路
封装基板
CVD金刚石紫外探测器
CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾.
楼燕燕
王林军
张明龙
顾蓓蓓
苏青峰
夏义本
关键词:
紫外探测器
金刚石膜
文献传递
CVD金刚石紫外探测器
被引量:1
2004年
CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾.
楼燕燕
王林军
张明龙
顾蓓蓓
苏青峰
夏义本
关键词:
紫外探测器
金刚石膜
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