中国航空科学基金(2008ZH68002)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
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- 相关机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：矿业工程电子电信电气工程机械工程更多>>
- 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3
- 2013年
- 获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.
- 陶也曾毅波刘畅林杰郭航
- 关键词：微机电系统电容式压力传感器硅薄膜化学机械抛光
- 应用Monte Carlo方法对GaN基微型核电池的研究被引量：2
- 2013年
- 应用Monte Carlo方法,建立了电子入射到半导体材料中的路径模型。基于此模型进行仿真,可以得到电子在半导体材料中的穿透深度和能量分布。对以同位素Ni—63为放射源的GaN基PN结微型核电池进行Monte Carlo分析,得出入射电子在GaN中的穿透路径和能量分布,以确定入射电子在GaN中能量最集中的位置,将GaN基PN结的结深设置在该位置可以大幅提高收集效率,进而提高输出功率与能量转换效率。实验中,分别制备了结深为1000,450nm,放射源为Ni—63的GaN基微型核电池,测试结果验证了经优化结深为450 nm的微型核电池其电学输出性能有明显提高,能量转换效率达到了1.47%,输出功率达到了微瓦级。该结果可以为GaN基微型核电池的设计与制造提供有效的参考依据。
- 笪凯戴昌鸿郭航
- 关键词：MONTECARLO方法
- 微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究被引量：1
- 2013年
- 研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu。XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与脱出。恒电流充放电测试表明:随着金属Cu掺杂量的增加,SnOx薄膜放电容量有所增加,循环性能有很大的提高。这种掺杂Cu的SnOx薄膜的制备方法可用于微型薄膜锂离子电池。
- 刘畅郭建来林杰刘琦郭航
- 关键词：磁控溅射负极材料
- 微机械圆盘谐振器的结构分析被引量：1
- 2013年
- 运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求.
- 郭建来刘畅王建艳林杰郭航
- 关键词：有限元锚点品质因子
