国家自然科学基金(90407020)
- 作品数：10 被引量：67H指数：5
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- 几种分立式微变形镜的性能模拟与比较被引量：1
- 2005年
- 采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Streh l比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形与砖形排列的微变形镜设计简单,但波前校正性能较差;圆形及蜂窝形微变形镜具有较高的波前校正性能,但设计加工复杂。
- 饶伏波乔大勇苑伟政姜澄宇
- 关键词：微机电系统自适应光学系统
- 一种新型CCD驱动电路设计方法被引量：36
- 2005年
- 在结合直接数字电路驱动法与单片机口驱动法的基础上,设计了一种新型的CCD驱动电路,保留了原有两种方法各自的优点。仿真与实验结果表明该方法能提供多路驱动时序,驱动频率高,硬件电路简单,编程方便,具有较好的性价比及应用推广价值,已用于CCD图像采集系统的研制。
- 虞益挺饶伏波乔大勇苑伟政
- 关键词：CCD驱动电路电荷耦合器件
- 大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究被引量：2
- 2005年
- 针对微变形镜镜面残余应力变形问题,使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况,得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线,确定了特定应力下最佳的金属反射面大小;此外,还利用弹性系数可变的折叠梁对分立式微变形镜单元的静电力驱动进行了改进,有效地增大了分立式微变形镜的冲程,使其能对近红外光进行校正。
- 乔大勇苑伟政饶伏波
- 关键词：微机电系统
- 分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计被引量：6
- 2006年
- 利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上完成了微变形镜的结构设计,并由仿真得到了结构的性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微变形镜的各项性能指标完全能满足一般自适应光学系统的应用要求.
- 虞益挺苑伟政乔大勇李晓莹
- 关键词：微变形镜
- 一种新型CCD图像采集系统设计被引量：8
- 2006年
- 结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以直接应用于高速数据采集的难题,实现连续图像数据采集和处理,具有较好的通用性。
- 马志波乔大勇虞益挺苑伟政姜澄宇
- 关键词：驱动电路电荷耦合器件FIFO
- 一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法被引量：1
- 2007年
- 针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pullin)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响。通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动器的有效行程至2.09μm,达到初始间距的44%。
- 饶伏波乔大勇苑伟政姜澄宇
- 关键词：MEMS
- 环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较被引量：1
- 2006年
- 在波前校正中,环形阵列的分立式微变形镜充分利用了各个单元。环形阵列的分立式微变形镜有等单元面积和等单元宽度两种设计准则,以37单元环形阵列微变形镜为例,从校正波前适配误差和校正后剩余波前的Strehl比两方面对两种设计准则进行比较。结果表明,采用等单元面积设计的环形微变形镜校正畸变波前的性能更好。特别是波前畸变严重时,这种效果更加明显。
- 李开成苑伟政乔大勇姜澄宇李晓莹
- 关键词：微机电系统
- 几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较
- 2005年
- 采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,需驱动电压最高。
- 乔大勇饶伏波苑伟政姜澄宇
- 关键词：微机电系统自适应光学技术微变形镜
- 自适应光学系统MEMS微变形镜的研究被引量：8
- 2004年
- 指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱 的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题.
- 饶伏波乔大勇苑伟政
- 关键词：MEMS技术自适应光学系统分立式电容式
- 一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究被引量：7
- 2006年
- 为了消除静电塌陷对静电吸引力微驱动器冲程的限制,设计了一种基于静电排斥力的纵向微驱动器实现结构,其可动电极和固定电极在工作过程中互相远离,可以从根本上解决静电塌陷问题,且冲程不受牺牲层厚度的限制;借助Maxwell2D软件,采用数值仿真方法,研究了微驱动器结构参数对静电排斥力大小的影响.数值仿真结果表明,梳齿电极水平间距,固定/可动梳齿电极宽度和两者的比值都是影响静电排斥力大小的关键因素.
- 乔大勇苑伟政马志波李开成李晓莹
- 关键词：冲程微机电系统
