国际科技合作与交流专项项目(2013DFR70620)
- 作品数：24 被引量：68H指数：5
- 相关作者：苏俊宏徐均琪葛锦蔓吴慎将吕宁更多>>
- 相关机构：西安工业大学南京理工大学西安现代控制技术研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 辐照激光能量对SiO_2薄膜特性及结构的影响被引量：3
- 2014年
- 为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值(LIDT)的变化。结果表明,样片膜厚随激光能量的增加而减小,辐照激光能改善薄膜表面形貌,并使样片LIDT值提高,最终能使样片的LIDT值从16.96J/cm2提高至18.8J/cm2。
- 郭芳徐均琪苏俊宏党少坤基玛.格拉索夫
- 关键词：SIO2薄膜
- 低温氢等离子体还原氧化石墨烯
- 2015年
- 还原氧化石墨烯是一种宏量制备石墨烯的有效方法,目前报道的还原方法包括物理和化学的方法,都存在各种各样的问题,比如危害环境,不兼容低温工艺等。本文提出了一种低温氧化石墨烯还原的方法。利用氢等离子体和氧化石墨烯反应,去除含氧官能团,实现还原氧化石墨烯。经过氢等离子体还原后,表征各个含氧官能团的吸收峰强度下降或者消失,Raman光谱上D峰强度的增加,都证实氧化石墨烯被还原。还原后薄膜电阻降低,确认了该方法的可行性。
- 梁海锋蔡沛峰蔡长龙
- 关键词：氧化石墨烯等离子体
- 钛酸镧薄膜的制备及工艺优化被引量：3
- 2015年
- 为了获得制备钛酸镧(LaTiO3)薄膜的最优工艺条件,采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了单层LaTiO3激光薄膜。研究了不同工艺条件对LaTiO3薄膜激光损伤特性的影响。研究结果表明,对LaTiO3薄膜激光损伤阈值(laser-induced damage threshold,LIDT)影响最大的工艺条件是沉积温度,其次是工作真空度,最后是蒸发束流。获得了制备单层LaTiO3激光薄膜的最优工艺条件:沉积温度175℃、工作真空度2.0×10-2 Pa、蒸发束流120mA(8keV);证明了最优工艺下制备的LaTiO3薄膜具有良好的激光损伤特性、稳定性以及重复性,所制备LaTiO3薄膜的激光损伤阈值为16.9J/cm2(1 064nm,10ns)。
- 杭良毅徐均琪程耀进苏俊宏
- 关键词：激光损伤
- 激光薄膜的设计与制备被引量：5
- 2014年
- 目的研究激光薄膜的膜系结构及提高激光损伤阈值的制备工艺。方法基于场强优化分布，设计Si基底上3～5μm增透、1064nm截止的激光薄膜，对镀后的薄膜进行激光辐照处理和真空退火处理，分析薄膜的相关性能。结果薄膜内部不同的场强分布会对其激光损伤特性产生不同的影响。在满足光学性能的情况下．采用适当的膜系结构，使膜层／膜层界面处的电场强度降低，或者使最大电场强度存在于激光损伤阈值较高的材料中．可有效提高整个膜系的激光损伤阈值。采用激光辐照处理和真空退火处理，也可以提高薄膜的激光损伤阈值。结论经过优化设计、激光辐照和真空退火处理，最终可使Si基底上红外减反薄膜的激光损伤阈值提高到6．2J／cm^2。
- 徐均琪郭芳苏俊宏邹逢
- 关键词：激光损伤阈值退火
- 光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度被引量：7
- 2017年
- 光学薄膜的激光损伤阈值是评价其激光耐受性能好坏的一个重要指标。对薄膜激光损伤阈值的准确评价和测定,是判断其激光耐受性能和进行相互比对的基础。通过对激光损伤阈值测试系统误差的溯源分析和计算机模拟,给出了优化测试系统的方向。研究结果表明:在激光光斑确定的情况下,激光能量越高,能量密度的误差越大。因此在满足需要的情况下,应该尽可能选取较低的激光能量。在激光能量确定的情况下,存在一个临界光斑,当小于临界光斑时,能量密度误差变化非常剧烈,光斑越小,能量密度误差越大。测试系统的激光光斑大于临界光斑时系统的误差较小,小于临界光斑时系统的误差急剧变大。因此,在激光损伤阈值测试系统中,应该优选临界光斑或者大于临界光斑。激光损伤阈值拟合产生的最大误差为最大能级的激光能量误差,因此要尽可能降低激光器的脉冲能量。由此可见,设计合理的系统参数,可以最大程度降低测量结果的不确定度。
- 徐均琪苏俊宏葛锦蔓基玛 格拉索夫
- 关键词：激光损伤阈值测量不确定度
- 532nm激光辐照下ZnSe薄膜光学特性研究被引量：2
- 2018年
- 采用电子束热蒸发技术制备了ZnSe薄膜,研究了532nm波长的不同能量(2.0mJ、2.5mJ、3.0mJ)、不同脉冲数(3、10、15)激光诱导前后,ZnSe薄膜的透射率、折射率、消光系数、损伤阈值(LIDT)的变迁。研究结果显示,在能量为2.0mJ激光辐照后,ZnSe薄膜折射率提高,透射率下降。相比较能量为2.5mJ、3.0mJ激光辐照,在能量为2.0mJ激光辐照后折射率提高最明显,由2.489 4提高到2.501 6。薄膜损伤阈值从0.99J/cm2提高到1.39J/cm2(10脉冲辐照);薄膜的损伤经过了无损伤到严重损伤突变的损伤演变过程。采用原子力显微镜对预处理后薄膜表面粗糙度进行检测,发现激光预处理后的薄膜表面粗糙度Ra有所下降,从0.563nm降低到0.490nm(15脉冲激光辐照)。
- 王建徐均琪李候俊李绵苏俊宏
- 关键词：硒化锌透射率折射率消光系数损伤阈值
- 双源共蒸技术制备MgF_2/ZnS复合薄膜的特性被引量：3
- 2019年
- 目的以MgF_2和ZnS为单组分制备MgF_2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采用电子束热蒸发和电阻热蒸发技术制备了复合薄膜,测量了复合薄膜的折射率、消光系数和透射率光谱,并对其激光损伤特性进行了研究。结果在所研究的工艺参数范围内,当Mg F_2和ZnS的沉积速率比为5∶1、4∶1、2∶1、1∶1和0.5∶1时,所制备复合薄膜的折射率分别为1.4227、1.4932、1.6318、1.9044和2.0762(波长550 nm)。复合薄膜的折射率符合正常色散,当沉积速率选取合适,可以获得介于两种组分薄膜材料之间的任意折射率。对激光损伤性能测试的结果显示,不同沉积速率比率下制备的复合薄膜的激光损伤阈值可能介于两种单组分薄膜之间,也可能高于每种单组分薄膜的激光损伤阈值,其激光损伤阈值最高比单组分MgF_2薄膜高28.6%,比单组分ZnS薄膜高96.4%。结论采用光电极值法监控膜厚,可根据不同蒸发源的蒸发特性,获得介于单组分膜料折射率之间的任意折射率材料,双源共蒸技术获取中间折射率是可行的。采用双源共蒸技术制备的复合薄膜,可改善单组分膜层的缺陷,获得高于单组分薄膜激光损伤阈值的材料。
- 徐均琪师云云李候俊苏俊宏
- 关键词：折射率消光系数激光损伤阈值热蒸发
- 沉积速率对H4膜光学带隙及激光损伤特性的影响被引量：1
- 2016年
- 采用电子束热蒸发技术在石英基底上制备了H4薄膜,并对其光学和激光损伤特性进行了研究。根据透射率谱计算出薄膜的光学带隙发现,光学带隙随着沉积速率的降低而增大,其值大小在4.66～4.73eV。椭偏测试结果表明,当沉积速率从0.92nm/s、0.17nm/s、0.08nm/s降低到0.03nm/s时,薄膜折射率从1.955 2、1.919 8、1.901 8降低到1.895 4（1 064nm）。所有样品的消光系数量级均优于10-5,说明薄膜表现出极小的吸收。薄膜的激光损伤形貌和激光损伤阈值（LIDT）受沉积速率的影响不大,同一激光能量作用下,薄膜的损伤斑大小基本一致,但0.92nm/s时制备的薄膜,其损伤区与未损伤区存在相互交错现象。当沉积速率从0.03nm/s变化到0.92nm/s时,薄膜激光损伤阈值在16～17J/cm^2（1 064nm,10ns）之间。
- 徐均琪苏俊宏杭良毅基玛.格拉索夫
- 关键词：光学带隙折射率
- 类金刚石薄膜及其进展被引量：8
- 2015年
- 为了使研究者能更详细地了解类金刚石(DLC)薄膜的研究现状,综述了类金刚石薄膜的特性及应用,分析对比了目前常用的一些类金刚石薄膜的制备方法,包括物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD),并对类金刚石薄膜的抗强激光损伤特性以及提高其激光损伤阈值的方法进行了论述。结果发现,利用PVD法制备的DLC膜的硬度可以达到40GPa^80GPa,且薄膜的残余应力可以达到0.9GPa^2.2GPa之间,而CVD法则由于反应气体的充入导致类DLC薄膜的沉积速率大大降低,故使用率不高。同时,优化膜系的电场强度设计,采用合理的制备工艺,进行激光辐照后处理,施加外界电场干预均可有效地提高DLC薄膜的抗激光损伤能力,且目前的DLC薄膜的激光损伤阈值可达到2.4J/cm2。
- 苏俊宏葛锦蔓徐均琪吴慎将陈磊
- 关键词：类金刚石激光损伤
- 横向电场下的类金刚石薄膜激光损伤被引量：2
- 2015年
- 类金刚石(DLC)薄膜在红外区有很高的透过率,但激光损伤阈值低,严重限制了其应用领域。采用直接在DLC薄膜上沉积Ti电极,基于激光损伤阈值(LIDT)测试平台,用1-on-1零几率损伤法,研究了在不同偏置电场下DLC薄膜损伤阈值及损伤形貌的变化。发现电场强度从0增加到700V/cm,损伤阈值明显增大;进一步增大偏置电场,损伤阈值相对不变。分析认为偏置电场改变了激光辐照DLC薄膜区域的光生载流子漂移速度,减小了DLC薄膜的局部热累积,减缓了薄膜的石墨化进程,提高了DLC薄膜的抗激光损伤阈值。
- 吴慎将王楠苏俊宏徐均琪葛锦蔓刘斌郭淑玲
- 关键词：类金刚石薄膜激光损伤阈值损伤形貌石墨化
