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国防科技重点实验室基金(51485010403BQ0301)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：姜德龙吴奎王国政郭艳玲薄春卫更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇SI
  • 1篇LPCVD
  • 1篇MCP

机构

  • 1篇长春理工大学

作者

  • 1篇桑卫兵
  • 1篇薄春卫
  • 1篇郭艳玲
  • 1篇王国政
  • 1篇吴奎
  • 1篇姜德龙

传媒

  • 1篇长春理工大学...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si-MCP连续打拿极的制备
2006年
本文阐述了MCP连续打拿极传统的制备方法,并提出采用半导体技术制备S i-MCP连续打拿极的新途径,通过对比进一步总结出采用新方法制备MCP连续打拿极的优越性。
郭艳玲薄春卫桑卫兵王国政吴奎姜德龙
关键词：LPCVD
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