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江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(07-E-008)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：李果华乔琦王淑珍朱拓更多>>
相关机构：河海大学江南大学更多>>
发文基金：上海市国际科技合作基金江苏省自然科学基金电子信息产业发展基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电池
  • 1篇少子寿命
  • 1篇太阳电池
  • 1篇清洗工艺
  • 1篇晶体硅
  • 1篇晶体硅太阳电...
  • 1篇硅片
  • 1篇硅片清洗
  • 1篇硅太阳电池
  • 1篇SI

机构

  • 1篇河海大学
  • 1篇江南大学

作者

  • 1篇朱拓
  • 1篇王淑珍
  • 1篇乔琦
  • 1篇李果华

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
制绒Si片清洗工艺的研究被引量：6
2010年
研究对比了不同清洗工艺对制绒Si片性能的影响,采用原子力显微镜和少子寿命测试仪测试经不同化学清洗工艺处理之后的Si片表面微粗糙度和少子寿命。研究发现,使用浓硫酸、双氧水混合液和稀释的氢氟酸溶液清洗Si片能够有效改善Si片表面的质量,Si片表面的微粗糙度由原先的5.96μm降低到4.45μm;采用等离子体增强化学气相沉积法在清洗之后的Si片上生长本征氢化非晶Si层,对Si片进行表面钝化,钝化之后的Si片少子寿命可达107.88μs。测试结果还表明,采用此种清洗方法处理的Si片少子寿命稳定性有很大提高。
王淑珍乔琦陈肖静王永谦朱拓张光春施正荣李果华
关键词：晶体硅太阳电池硅片清洗少子寿命
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