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国家自然科学基金(60978044)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇低收缩
  • 1篇紫外
  • 1篇微光学
  • 1篇微光学元件
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇硫醇
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光学
  • 1篇光学元件
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇谭久彬
  • 1篇刘楠
  • 1篇金鹏

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺
2012年
基于硫醇-烯类材料具有固化凝胶点滞后的特点,本文将多种硫醇-烯类材料应用于紫外压印的连续浮雕结构微光学元件复制加工工艺中,用以降低固化收缩对于加工误差的影响。实验结果表明,虽然该材料的固化收缩达到13%,但加工结果的收缩误差优于2%。反应离子刻蚀实验表明,通过调节刻蚀气体含量,该材料可实现连续浮雕结构的等比例图形传递。研究结果表明,应用基于硫醇-烯材料的紫外压印工艺制作连续浮雕结构微光学元件是一种行之有效的方法。
刘楠金鹏谭久彬
关键词：微光学元件反应离子刻蚀
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