国家科技部科研院所技术开发研究专项(31001)
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
- 相关作者：韩仓白雪储茂友段华英孙静更多>>
- 相关机构：北京有色金属研究总院更多>>
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- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 烧结温度对AZO热压靶材性能影响研究被引量：5
- 2011年
- 以ZnO和Al2O3粉体为原料,采用热压烧结制备AZO靶材。通过阿基米德法测量靶材的密度,压汞法测量靶材的孔径分布,扫描电镜观察靶材的断面形貌,研究了热压温度对AZO靶材密度、气孔演化和显微结构的影响。结果表明:根据烧结温度的不同,AZO靶材热压致密化过程分为两个阶段:850～1050℃,随着温度的升高,连通气孔发生合并与收缩,孔径分布逐渐集中化,同时闭孔率逐渐减小,在1050℃具有最低值0.104%。这一阶段的主要特征是致密化速率较快,存在相互连通的气孔。当温度升至1150℃,颗粒之间结合紧密,孔隙率降至5.21%。这一阶段的主要特征是气孔全部闭合。将所制备的靶材作为溅射源,进行射频磁控镀膜测试。采用台阶仪测量膜厚,紫外分光光度计测量薄膜透光率,四探针电阻图谱仪测量薄膜电阻率,XRD分析物相的结构。镀膜测试结果显示,在相同的溅射条件下,靶材孔隙率越低,沉积速率越快,所得薄膜电阻率越低,但溅射功率较高时薄膜透光率明显减小。平均孔径较小且孔径分布集中的靶材,溅射所得薄膜电阻率较低。在溅射功率密度为3.9 W.cm-2下,相对密度高于80%的AZO靶材,靶材寿命大于150 W.h。相对密度为94.79%的靶材在溅射功率30 W下沉积20 min得到薄膜的电阻率为3.14×10-4Ω.cm,平均透过率大于85%,具有002择优取向,满足薄膜太阳能对透明导电薄膜性能的要求。
- 白雪王星明韩仓储茂友段华英孙静
- 关键词：热压溅射
