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国家高技术研究发展计划(2001AA4211140)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：程灏波更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇非球面
  • 1篇补偿器

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇程灏波

传媒

  • 1篇哈尔滨工业大...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
零补偿干涉检测实现及误差量规律被引量：6
2006年
针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化.利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型.以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助于获得指导加工的真实面形结果.
程灏波
关键词：非球面抛光
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