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山东大学自主创新基金(31410071614089)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：赵俊峰王炳雷陈曦周慎杰更多>>
相关机构：哥伦比亚大学西安交通大学山东大学更多>>
发文基金：山东大学自主创新基金山东省自然科学基金美国国家科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇应变梯度
  • 1篇应变梯度理论
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械系统
  • 1篇MEMS微结...
  • 1篇尺寸
  • 1篇尺寸效应

机构

  • 1篇山东大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇哥伦比亚大学

作者

  • 1篇周慎杰
  • 1篇陈曦
  • 1篇王炳雷
  • 1篇赵俊峰

传媒

  • 1篇固体力学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究被引量：6
2011年
基于应变梯度弹性理论,研究了静电激励MEMS微结构吸合电压的尺寸效应.利用最小势能原理分别推导出含尺寸效应的一维梁模型和二维板模型的高阶控制方程.采用广义微分求积法和拟弧长算法对控制方程进行了数值求解.结果表明,随着结构尺寸的降低,新模型所预测的归一化的吸合电压呈非线性增长,表现出尺寸效应(特别是当结构尺寸与内禀常数在同一数量级时尺寸效应更加强烈);而相应的经典理论模型并不能预测此尺寸效应.两种新模型可视为相应经典理论的推广.论文有助于研究MEMS微结构的特性并对微结构的设计有潜在的应用价值.
王炳雷周慎杰赵俊峰陈曦
关键词：尺寸效应应变梯度理论微机械系统
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共1页<1>
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