中国博士后科学基金(2012M520081)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 步进式旋转光刻制备柱面微结构光栅模具
- 2013年
- 相对于常规光栅制造方法 (如机械刻划和光学曝光等工艺)而言,连续辊压印技术更易实现低成本、连续和高效的大面积制造。高精度栅结构辊压印圆柱辊模具的制备工艺技术是连续辊压印技术实现高精度光栅复制的关键技术。针对这一问题提出了一种步进式旋转光刻工艺路线,将小区域的微结构光栅掩模通过步进式拼接曝光方式实现模具表面整周完整光栅的曝光。区别于传统平面曝光过程,筒形模具曲面曝光采用步进式旋转光刻工艺,其关键技术是:搭建高步进精度的旋转曝光工艺实验平台、解决筒形模具外径及光栅周期匹配问题和优化接近式拼接曝光工艺中的曝光间隙。通过理论分析和实验验证,得出了优化的步进旋转角度、筒形模具外径、光栅周期和接近式曝光间隙的条件,通过此工艺完成了柱面模具表面周期为20μm级的光栅结构的制备,为采用辊压印技术实现低成本、连续和高效大面积光栅制造创造了有利条件。
- 冯龙蒋维涛刘红忠史永胜尹磊
- 关键词：光栅
- 曲面仿生复眼透镜微复型过程变形分析被引量：1
- 2013年
- 针对大视场曲面仿生复眼透镜的制造难点,采用了一种基于气压辅助聚合物弹性体微复型的制造工艺,以实现大视场曲面微透镜阵列的快速、低成本制造。利用有限元软件(ABAQUS),对气压辅助微复型工艺过程中聚合物弹性体的大变形、曲面成型过程中微透镜的形变问题进行了仿真实验,得到了曲面成型过程中曲面轮廓对成型气压的依赖关系,以及不同纬度微透镜阵列的尺寸变化关系,并进行了相关工艺实验验证。结果表明,在气压辅助曲面成型过程中,成型曲面的轮廓为球面,其球面直径依赖于成型气压;曲面成型过程中,微透镜形变量沿曲面纬度方向基本一致,不同纬度上微透镜直径的增大率为9.45%～10.56%。由于在不同纬度处所制造的曲面复眼透镜的焦平面不同,因此曲面复眼透镜具有比平面微透镜阵列更大的视场。
- 杨俊蒋维涛王兰兰刘红忠
