国家自然科学基金(61205138)
- 作品数:7 被引量:24H指数:3
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- 相关机构:中国科学院中国科学技术大学更多>>
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- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 248 nm高反膜抗激光损伤性能被引量:2
- 2014年
- 用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248nm的HfO2/SiO2高反膜,为提高其抗激光损伤能力,设计并制备了两种保护层,一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层,另一种是用Al2O3/MgF2做保护层。测试了3种高反膜样品的激光损伤情况,通过损伤形貌的变化分析了两种保护层使抗激光损伤能力提高的原因以及存在的问题。
- 刘凤娟周曙秦娟娟邵景珍方晓东
- 关键词:NM高反膜激光损伤保护层
- 大能量高功率准分子激光的应用及关键技术被引量:5
- 2013年
- 实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术。
- 赵家敏游利兵余吟山方晓东
- 关键词:激光技术准分子激光大能量高功率磁脉冲压缩激光退火
- 一种放电引发非链式氟化氘脉冲激光器研究
- 2016年
- 设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5kV、100ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离,在电极间距为30mm激活区形成均匀辉光放电,注入能量密度达190J/L。激光谐振腔选用平平腔结构,激光工作气体采用SF6和D2,其气体配比优化为10:3,此时获得最大能量输出为877mJ,电光转换效率为1.9%,脉宽约200ns,光斑为30mm×9mm。
- 游利兵尹广玥王庆胜方晓东
- 关键词:激光器化学激光磁脉冲压缩开关
- 0.73J脉冲能量KrF准分子激光器的特性被引量:7
- 2013年
- 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激励。研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30mm×14mm,在充电电压23kV时,全电效率最高,达到2.0%。
- 赵家敏游利兵余吟山方晓东
- 关键词:准分子激光器激光退火大能量磁脉冲压缩
- 焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器被引量:2
- 2016年
- 研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得出了最佳气体组分,确定了最佳工作气压。总气压在8.8kPa,气体组分H2与SF6气压比为1:9时,获得最佳的激光输出,输出能量达到1.3J,激光器的光电转换效率达到2.4%。
- 王庆胜游利兵尹广玥褚状状方晓东
- 关键词:HF激光器磁脉冲压缩开关紫外预电离
- 聚合物光纤光栅制备进展被引量:3
- 2018年
- 聚合物光纤光栅不仅具有体积小、质量轻、柔软、成本低等诸多优点,还因聚合物自身的特性而具有灵敏度高、响应范围宽、生物兼容性等优良特性。首先梳理了聚合物光纤的光敏性机理,概述了聚合物光纤光栅制备的刻蚀光源和方法;其次根据聚合物光纤的组成材料,概述了多种聚合物光纤光栅的制备进展和性能指标,包括聚甲基丙烯酸甲酯、环烯烃共聚物TOPAS、透明无定物氟聚合物CYTOP和聚碳酸酯。总之,目前聚甲基丙烯酸甲酯聚合物光纤光栅的研究占主导,而基于新型材料的聚合物光纤光栅因自身独特的优势也逐渐受到重视。
- 褚状状游利兵王庆胜尹广玥陈亮陈亮
- 关键词:光栅聚合物光纤光纤布喇格光栅长周期光栅
- 有害气体检测的光纤传感技术发展被引量:6
- 2016年
- 光纤气体传感器具有易于小型化、可遥测、灵敏度高、响应快等诸多优点。根据传感原理,概述了有害气体检测的光纤传感器,包括折射率变化型光纤气体传感器、倏逝波光纤气体传感器、表面等离子共振光纤气体传感器、光声光纤气体传感器、多孔光纤气体传感器,以及吸收型光纤气体传感器、荧光型光纤气体传感器、染料指示剂型光纤气体传感器。简要介绍了光纤气体传感器的发展。
- 褚状状游利兵王庆胜尹广玥方晓东
- 关键词:光纤传感有害气体