国家自然科学基金(60704035)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 相关作者：王彦吨郑英更多>>
- 相关机构：华中科技大学中国中煤国际工程集团武汉设计研究院更多>>
- 发文基金：湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 混合产品批间控制的周期重置折扣因子的EWMA算法
- 半导体制造行业中基于线程的指数加权平均批间控制是一种重要的稳定控制方案,然而,当干扰服从IMA（1,1）序列且具有确定线性漂移并在线程有很长的下线时间时,这一过程的输出在每个周期的最初几个批次中将会出现很大偏差。本文分析...
- 郑英艾兵郑燕叶林
- 文献传递
- 半导体混合产品批间控制的理论与实验研究
- 2008年
- 提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法。在此基础上,得到了闭环系统的输出,评估了控制性能。由于NH3的挥发类似于半导体工业的机台漂移,因此对纳米级SiO2粒子进行了实验研究。在氨溶液挥发的影响下制造不同大小的SiO2粒子,以模拟在机台干扰下生产不同产品。实验研究证实了理论结果,即基于机台的方法有时不稳定,而基于产品的方法是稳定的。
- 郑英王彦吨
