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广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金(0842006-030-Z)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：龙芋宏更多>>
相关机构：桂林电子科技大学更多>>
发文基金：广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇准分子
  • 1篇刻蚀
  • 1篇激光
  • 1篇激光技术
  • 1篇光技术
  • 1篇分子
  • 1篇硅

机构

  • 1篇桂林电子科技...

作者

  • 1篇龙芋宏

传媒

  • 1篇应用激光

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
准分子激光电化学复合工艺中热—力效应研究被引量：1
2009年
为了探寻准分子激光电化学刻蚀硅工艺中的热—力效应特性,采用功率密度大的248nm准分子激光聚焦照射浸在KOH溶液中的n-Si表面,实现了一种激光电化学复合刻蚀工艺。通过数值仿真与实验比较的方法,对该工艺的刻蚀速率进行了分析。研究结果表明,该复合工艺存在激光直接刻蚀、电化学刻蚀和激光与电化学耦合刻蚀等三种刻蚀作用;在耦合作用中,溶液中激光加工的热效应较小,光热效应导致的刻蚀小;而溶液中激光加工的力学效应对材料的刻蚀作用很大。通过对准分子激光与溶液中靶材相互作用过程的热—力效应分析,更深入地探讨了准分子激光电化学工艺的刻蚀机理。
龙芋宏
关键词：激光技术刻蚀硅
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共1页<1>
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