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河北省科学技术研究与发展计划项目(06213544)

作品数：3 被引量：6H指数：1
相关作者：刘新福贾科进闫德立田建来谢辉更多>>
相关机构：河北工业大学更多>>
发文基金：河北省科学技术研究与发展计划项目河北省教育厅科学技术研究计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇电阻
  • 3篇薄层电阻
  • 3篇层电阻
  • 2篇微区薄层电阻
  • 1篇电阻抗
  • 1篇电阻抗成像
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇信号处理器
  • 1篇数字信号
  • 1篇数字信号处理
  • 1篇数字信号处理...
  • 1篇四探针
  • 1篇硅片
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体测试
  • 1篇EIT

机构

  • 3篇河北工业大学

作者

  • 3篇刘新福
  • 1篇谢辉
  • 1篇张润利
  • 1篇赵丽敏
  • 1篇刘金河
  • 1篇田建来
  • 1篇闫德立
  • 1篇柳春茹
  • 1篇苏双臣
  • 1篇贾科进
  • 1篇赵晓然
  • 1篇黄宇辉
  • 1篇任献普

传媒

  • 2篇半导体技术
  • 1篇北华航天工业...

年份

  • 1篇2009
  • 2篇2007
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究被引量：1
2009年
分析了各种半导体材料电阻率测量方法的优缺点及适用性,利用电阻抗成像技术(EIT),探究了一种用来检测Si片内微区薄层电阻率均匀性的无接触测试技术。实现这种测试技术的硬件电路系统主要由激励模块恒流源、驱动模块多路模拟开关、信号处理模块前置放大电路、A/D转换器件和DSP(数字信号处理器)芯片、计算机等构成。分别介绍了各模块的构成与功能,并略述了用一种图像重建算法等位线反投影法进行阻抗分布图像的重建。
任献普刘新福黄宇辉柳春茹赵晓然赵丽敏
关键词：半导体测试数字信号处理器薄层电阻
四探针和EIT测试微区薄层电阻的研究与进展被引量：6
2007年
论述了一种测试大型硅片电阻率均匀性的新方法———电阻抗成像技术(EIT)。给出了四探针的基本原理,指出EIT的基本思想来源于四探针技术。对EIT的基本原理和重建算法在理论上进行了描述,提出可将其应用于微区薄层电阻测试,并对EIT在大型硅片微区薄层电阻率均匀性测试技术上的系统应用做了进一步探索。
谢辉刘新福贾科进闫德立田建来
关键词：电阻抗成像微区薄层电阻
探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析被引量：1
2007年
分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论。
苏双臣刘新福张润利刘金河
关键词：硅片薄层电阻
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