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国家自然科学基金(60406003)

作品数:8 被引量:10H指数:2
相关作者:姚素英肖夏李志国白茂森张鑫慧更多>>
相关机构:天津大学复旦大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 8篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 4篇机械特性
  • 4篇表面波
  • 3篇多孔
  • 3篇声表面波
  • 3篇频散
  • 3篇频散特性
  • 2篇低介电常数
  • 2篇低介电常数介...
  • 2篇杨氏模量
  • 2篇介电
  • 2篇介电常数
  • 2篇SAWS
  • 1篇电路
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇英文
  • 1篇色散
  • 1篇色散曲线
  • 1篇最小二乘
  • 1篇最小二乘法

机构

  • 7篇天津大学
  • 1篇复旦大学

作者

  • 7篇肖夏
  • 7篇姚素英
  • 4篇李志国
  • 3篇白茂森
  • 2篇张鑫慧
  • 1篇尤学一
  • 1篇阮刚

传媒

  • 2篇Journa...
  • 2篇天津大学学报
  • 1篇物理学报
  • 1篇电子学报
  • 1篇Semico...
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2008
  • 4篇2007
  • 3篇2006
  • 2篇2005
8 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算被引量:1
2006年
利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.本文研究了在Si(100)衬底上淀积双层薄膜的分层结构中超声表面波沿Si[110]晶向传播的速度-频率色散关系.应用此方法对超大规模集成电路(ULSI)中具有质软、易碎特点的低介电常数互连介质(low-k)薄膜的机械特性进行了表面波频散计算.研究了先进ULSI互连布线系统中广泛存在的3种分层薄膜结构上表面波的频散特性.计算表明不同分层结构对表面波的频散特性影响很大.对于同一分层结构,表面波的频散曲率随low-k薄膜杨氏模量的减小而显著增大.本工作为准确测定low-k薄膜的杨氏模量提供了理论计算依据.
肖夏姚素英阮刚
关键词:频散特性杨氏模量
周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型(英文)
2007年
研究了纳米通孔的分布对于表面波方法测量多孔低介电常数薄膜机械特性的影响,提出了用橫观各向同性表征周期性多孔介质材料结构特性的表面波传播理论模型,给出了表面波在low-k薄膜/Si基底分层结构中的传播方程.通过数值算例揭示出表面波在不同传播方向的频散特性,以及low-k薄膜的弹性常数即杨氏模量E,E′和剪切模量G′对频散特性的影响.结果表明E′和G′在垂直于通孔的传播方向不能被测出.
李志国姚素英肖夏白茂森
关键词:低介电常数介质机械特性
Novel Logarithmic Active Pixel Sensor with High Dynamic Range and High Output Swing
2008年
The logarithmic response complementary metal oxide semiconductor(CMOS) image sensor provides a wide dynamic range, but its drawback is the lack of simple fixed pattern noise(FPN) cancellation scheme. Designed is a novel logarithmic active pixel sensor(APS) with high dynamic range and high output swing. Firstly, the operation principle of mixed-model APS is introduced. The pixel can work in three operation modes by choosing the proper control signals. Then, FPN sources of logarithmic APS are analyzed, and double-sampled technique is implemented to reduce FPN. Finally, according to the simulation results, layout is designed and has passed design rule check(DRC), electronic rule check(ERC) and layout versus schematic(LVS) verifications, and the post-simulation results are basically in agreement with the simulation results. Dynamic range of the new logarithmic APS can reach about 140dB; and the output swing is about 750mV. Results show that by using double sampled technique, most FPN is eliminated and the dynamic range is enhanced.
FU Xian-songYAO Su-yingYUAN Yi-dongXU Jiang-taoDING KeYAN Kun-shan
关键词:半导体技术性能
The Investigation of SAWs propagation in Layered Anisotropic Media for Mechanical Properties Measurement of Porous Low-k Dielectrics
<正>Porous low-k materials are required for the advanced 45nm node and beyond ULSI interconnect system.The dete...
Zhi-Guo LiSu-Ying YaoXia XiaoMao-Sen BaiXin-Hui Zhang
文献传递
Investigation of SAWs Propagating on the Nano-porous Film
<正>This paper established a new layered model to calculate the theoretical dispersion curve of SAWs propagatin...
Mao-Sen BaiXia XiaoZhi-Guo LiSu-Ying YaoGang Ruan
文献传递
表面波方法表征纳米多孔SiO_2薄膜机械特性的对准技术被引量:1
2005年
超声表面波方法表征薄膜材料机械特性的过程是将理论计算的色散曲线与实验所得的色散曲线进行拟合,获得所测薄膜样品的杨氏模量值.因此,实验信号的有效性是获得准确结果的最重要因素.双端压电传感探头的设计确保了实验测试条件与理论计算模型的一致性,从而进一步增加了测定结果的准确性.应用此技术对纳米多孔SiO2薄膜的机械性能进行了测定,当其膜密度为1.15g/cm3时,拟合出的杨氏模量值为1.5GPa.分析结果还表明影响拟合结果准确性的实验因素主要是压头的位置与平头表面波的角度偏差.
肖夏张鑫慧姚素英
关键词:SIO2薄膜机械特性纳米多孔色散曲线测试条件
表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性被引量:4
2007年
利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中,SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后,单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶,双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶,大幅度提高了计算速度,有利于生产ULSI过程中的在线监测.
肖夏尤学一姚素英
关键词:超大规模集成电路声表面波频散特性
多孔Low-k材料各向异性特性声表面波测量模型
2007年
声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及弹性模量对表面波色散曲线的影响.结果表明,纳米通孔方向与传播方向间的角度差会对色散曲线产生明显影响,在垂直于通孔的传播方向不能测出弹性模量E′.最后给出了有助于改善测量精度的措施.此模型可用于纳米多孔低介电常数材料各向异性特性测试实验.
李志国姚素英肖夏白茂森
关键词:各向异性模型
LSAWs测量低介电常数介质薄膜杨氏模量的信号处理被引量:2
2007年
利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时(LSAWs实验),必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线.设计了专用的程序滤波器对LSAWs实验中采集的原始信号进行滤波,有效抑制了信号噪声.滤波器加载的Kaiser窗降低了“吉布斯”效应的影响.对原始信号的增零处理增加了频谱的细腻程度.通过傅里叶变换获得了LSAWs实验有效信号的频谱.根据实验信号的相频特性曲线,通过最小二乘法拟合出了LSAWs实验中声表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线.实验表明,阻带噪声衰减为60 dB,获得了截止频率高达120 MHz的色散曲线.
肖夏白茂森李志国姚素英
关键词:声表面波杨氏模量信号处理最小二乘法
表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性被引量:4
2005年
研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[100]和[110]晶向传播的速度频率色散特性,给出了表面波色散特性的理论推导,得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
李志国肖夏张鑫慧姚素英
关键词:低介电常数介质表面波频散特性
共1页<1>
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