广东省自然科学基金(06026151A)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
- 相关作者：肖晓玲林松盛侯惠君李福球张馨更多>>
- 相关机构：广州有色金属研究院更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 非平衡磁控溅射沉积TiC/a-C多层膜的组织结构被引量：3
- 2008年
- 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨靶方法获得的TiC/a-C薄膜,无明显的层状结构,a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成,碳原子的有序化程度较大;而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC/a-C薄膜,呈规则的分层结构,碳原子的有序化程度低。采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜/基的结合强度。
- 肖晓玲洪瑞江林松盛李洪武侯惠君
- 关键词：非平衡磁控溅射
- TiC/DLC多层膜的制备及组织形态被引量：9
- 2010年
- 本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,以甲烷气体为碳源,99.99%Ti为靶材制备了TiC/DLC多层膜。利用X射线衍射仪、电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等对TiC/DLC多层膜的组织、结构、形态及成分进行了分析。结果表明:Ti与C结合生成TiC晶相,过渡层中TiC相呈柱状晶生长,多层膜中的TiC分层以岛状模式生长,DLC分层以层状模式生长,TiC/DLC膜层中含有金刚石成分。TiC/DLC的多层结构受沉积参数的影响,当分层的沉积时间少于1 min时,很难获得清晰的层状结构薄膜,膜中Ti的含量随Ti靶电流的增加而增加;过渡层的引入,提高了膜与基体的结合力,并且过渡层的厚度增加,TiC/DLC膜层同基体之间的结合力增强。
- 肖晓玲张馨李福球侯惠君林松盛
- 关键词：非平衡磁控溅射组织及性能
