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江西省教育厅科技计划项目(GJJ09424)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：赵勇唐建成赖珍荃于鹏马力更多>>
相关机构：南昌大学更多>>
发文基金：江西省教育厅科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇硅基
  • 1篇负压
  • 1篇ZNO
  • 1篇ZNO薄膜结...
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇南昌大学

作者

  • 1篇盛广沪
  • 1篇马力
  • 1篇于鹏
  • 1篇赖珍荃
  • 1篇唐建成
  • 1篇赵勇

传媒

  • 1篇南昌大学学报...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
PFCVAD系统靶负压对硅基ZnO薄膜结构及应变的影响被引量：1
2009年
采用磁过滤阴极脉冲真空弧沉积（pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition,PFCVAD）系统,以Si（100）单晶片为衬底,在衬底温度300℃、氧气压力4.0×10-2Pa的条件下制备出了c轴择优取向的ZnO薄膜。通过原子力显微镜（AFM）和X射线衍射（XRD）技术对ZnO薄膜的表征,研究了靶负压对ZnO薄膜结构和应变的影响。研究结果表明,不同靶负压条件下ZnO薄膜的晶粒大小分布在16.7~39.0 nm之间,靶负压对薄膜表面结构影响较小 不同靶负压条件下ZnO薄膜都呈张应力,且张应力随靶负压的增大而增大。
于鹏赵勇马力盛广沪赖珍荃唐建成
关键词：ZNO
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