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福建省科技重点项目(2005H043)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：黄波吴跃波吴孙桃更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇紫外探测
  • 1篇紫外探测器
  • 1篇肖特基
  • 1篇肖特基二极管
  • 1篇溅射
  • 1篇二极管
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇吴孙桃
  • 1篇吴跃波
  • 1篇黄波

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ZnO薄膜紫外探测器的研制被引量：3
2008年
利用射频磁控溅射技术在SiO2/n-Si衬底上制备了ZnO薄膜,并在薄膜上制作了Ag-ZnO肖特基二极管和Ag-ZnO-Ag肖特基MSM叉指结构的紫外探测器。所制备的ZnO薄膜具有良好的c轴择优取向,表面平整,在可见光范围具有较高的透射率,吸收边在370 nm附近;所制作的肖特基二极管显示了良好的整流特性,有效势垒高度约为0.65 eV;所制作的MSM紫外探测器在5 V偏压下漏电流为3.3×10-8A,在紫外波段有较高的响应度,光响应度峰值在365 nm附近。
吴跃波黄波吴孙桃
关键词：ZNO薄膜磁控溅射肖特基二极管紫外探测器
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