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陕西省教育厅自然科学基金(09JS099)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：王肖烨李言李淑娟更多>>
相关机构：宝鸡文理学院西安理工大学更多>>
发文基金：陕西省教育厅自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇磨料
  • 1篇超硬
  • 1篇超硬磨料
  • 1篇大尺寸

机构

  • 1篇宝鸡文理学院
  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇李淑娟
  • 1篇李言
  • 1篇王肖烨

传媒

  • 1篇工具技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大尺寸SiC单晶片的超硬磨料切割技术研究进展被引量：4
2010年
在SiC单晶片的制造中,切割是加工SiC单晶片的关键工序,其成本占整个加工成本的50%以上。然而,传统的切割技术还存在一定的缺点或局限性。本文在分析传统切割技术的基础上,较详细地介绍了金刚石线锯超声纵向振动切割技术,指出金刚石线锯超声纵向振动切割技术与相同实验条件下的未施加超声振动的锯切方法相比,具有加工材料去除率高、表面质量好、加工表面损伤小、挠曲变形小、切片薄、片厚一致性好、能切割大尺寸SiC锭等优点,是应用前景非常广泛的切割方法。
李言王肖烨李淑娟
关键词：超硬磨料
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