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Al_2 O_3(Pt)修饰SnO_2气体传感器的气敏性能被引量：1: 2007年; 采用共溶溶胶凝胶法及半透膜渗析技术,合成SnO_2纳米粉体．采用旁热式结构,制成了Al_2O_3(Pt)修饰SnO_2双层膜的气体传感器．通过TEM、SEM分析方法分别对SnO_2粉体、敏感膜以及Al_2O_3(掺质量分数3%Pt)表面催化层的表面形貌进行观察和表征．实验结果表明,Al_2O_3(掺质量分数3%Pt)修饰SnO_2双层膜气体传感器对甲烷有好的选择性和较高的灵敏度。在φ(CH_4)= 5×10^(-3)时灵敏度最高可达到5以上．; 童利苹施云波殷景华; 关键词：选择性

基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究被引量：8: 2006年; 提出了基于MEMS技术，将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构，并成为Al2O3-Pd-Th0-SiO复合催化剂的载体，实现催化元件和补偿元件的单片集成，制作出LPG传感器．单桥结构尺寸为1mm×1．2mm，厚度为30-35μm，利用铂薄膜制做加热器，并经反溅刻蚀和激光修调，形成标称阻值（0℃）为10Ω的热敏感电阻．传感器性能测试结果表明：微双桥催化LPG传感器具有输出信号与气体浓度呈线性特性，可实现体积分数（500～10000）×10^-6LPG检测，同时，测试了温度范围为10-50℃和湿度范围为10-90％RH的传感器温湿度特性，结果证明：微双桥催化LPG传感器输出最大偏差为1．2mV，相当于体积分数600×10^-6的LPG浓度．; 张洪泉施云波郭建英; 关键词：气体传感器温度

多孔电极平板结构的PdPc/H_2PtCl_6杂化有机半导体毒气传感器的研究被引量：4: 2006年; 采用“摸扳法”以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料，以N，N二甲基甲酰胺为溶剂，在N2保护和碳酸钾的催化作用下，合成了酞菁分子碎片，通过质谱分析确定了相对分子质量为243（理论值为243．34），验证了工艺过程的正确性。以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc，通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合，确定了合成反应终产物，进而以一定比例将PdPc、HzPtCle共溶在甲醇溶液中，在30～50℃下48h杂化合成为有机半导体气敏材料。依据欧姆定律，并以激光微加工、半导体技术设计、制诈了多孔电极平板结构，增大电极面积，降低了电极间距，比常用叉指电极结构的电阻降低了10。倍以上，使其电导率接近无机半导体数量级，利于后续电路信号采集。通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌，确定其为连续、多孔的表面态，气孔在Ф0．1～Ф2μm，既保证了导电，又有透气的特征。以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜，电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌，基本层膜厚2μm，并有Ф0．1～Ф5μm微球结晶体嵌入，分布匀一，呈现继续互融生长趋势。以静态法测量其气敏特性，结果表明传感器对NO2呈N型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为7．45倍；对NO呈P型半导体，0．010％气体浓度下灵敏度为0．25倍；响应时间为90s。对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关。; 施云波张洪泉项金娟冯侨华胡竹平郭建英; 关键词：多孔电极平板结构有机半导体杂化半导体传感器

PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析: 2007年; 利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态配气法对0.01﹪浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具有良好的吸附和脱附性能,并对其敏感机理进行了初步讨论。; 项金娟殷景华施云波; 关键词：涂膜气敏特性

带风向识别的风速传感技术研究被引量：1: 2006年; 为了提高矿井风速监测和控制水平,研究了一种基于热膜式原理的高精度风速传感器,为满足矿井救灾时需明确风向需求,设计了风向的正、反方向识别功能,同时为提高风速传感器可靠性水平,采用了冗余设计的思想增加了风速敏感膜贮备系统,风速传感器采用恒温式工作原理,测量范围0．2～15m／s,具有动态特性好、测量精度高、可靠稳定的特点。; 张洪泉施云波冯侨华郭建英; 关键词：风向风速传感器冗余设计

杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究被引量：1: 2006年; 采用“模板法”,在N2气保护下,合成CuPc基体材料.通过共溶技术对其杂化,得到具有较理想电导率的气敏材料.应用微精细加工工艺制备具有平面叉指电极结构的气体传感器的基片,利用真空镀膜方法在平面叉指电极基片上形成敏感膜.通过扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀.静态测试法考核传感器性能表明,传感器具有较好的响应恢复性,灵敏度和热稳定特性,对C l2、NO2、H2S等有毒气体选择性好、响应灵敏.; 李月施云波殷景华杨培滋; 关键词：灵敏度敏感膜

基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究被引量：1: 2006年; 以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传感器．阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程，并通过真空镀膜形成气敏膜．实现了主动吸气的检测模式，提高了响应时间和气敏性．通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸，用做电极和加热器Pt膜厚为500nm，敏感膜厚为150nm，微壳深度为150～200μm测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应，灵敏度为0．01％浓度下0．25倍，并呈现P型半导体的变化规律．研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响．; 施云波张洪泉胡竹平冯桥华项金娟郭建英; 关键词：激光微加工

Integrated Gas Sensor Based on MEMS: 2006年; Integrated gas sensor suspending bridge style micro-structure has been developed on Al_2O_3 new type membrane based on MEMS.CH_4 gas sensing unit and CO gas sensing unit were fabricated separately on 4 unit array style suspending bridge structure.We have studied on time-sequence modulation form voltage pulse heating method which forms different work temperature; Hongquan ZhangTong ZhangLikai SunYunbo ShiJianying Guo; 关键词：MICRO-STRUCTURE

基于DSP的高速数据采集系统的研制被引量：16: 2004年; 介绍一种以TMS320VC5402DSP为核心处理器的高速数据采集系统,该系统可同时对多路模拟信号进行数据采集,各通道采样率同时同步可达1MHz。经过高速处理器的实时处理,通过PCI总线将数据传送到上位主控计算机端,作进一步处理与分析。该系统可以广泛应用于多通道模拟信号高速采集的场合。; 贺代春刘教民王震洲; 关键词：高速数据采集系统 PCI总线 DSP 数据传送 TMS320VC5402 主控计算机

Study on Environmental Multi-parameter Sensor Based on MEMS被引量：1: 2006年; A new membrane type Al_2O_3 micromachining material is used.We develop an environmental multi-parameter detection micro-system,which implements the detection to temperature,humidity,wind speed,and CO.The test results illustrate that the heat-release unit in micro-system intercross greatly affects other sensing units on the temperature.We study the method of etching process,which formed cavity to reduce the heat exchange efficiency and decrease temperature intercross effect.; Hongquan ZhangTong ZhangLikai SunYunbo ShiJianying Guo; 关键词：MICROSYSTEM

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国家自然科学基金(60272002)

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