上海市国际科技合作基金(08230705500)
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
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- 相关机构：上海交通大学南昌工程学院国家工程研究中心更多>>
- 发文基金：上海市国际科技合作基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国际科技合作与交流专项项目更多>>
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- 利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究被引量：7
- 2011年
- 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。
- 郑慈航唐刚刘景全李以贵余震何丹农杨春生
- 关键词：压电发电微机电系统
- 压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究被引量：1
- 2011年
- 采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。
- 唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵
- 关键词：湿法化学刻蚀振动
- 超声液体环境下压电式振动能量采集的研究被引量：4
- 2011年
- 针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数,发现能量采集器在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小;在当悬臂梁与超声换能器平面的夹角为45°~60°时,能量采集器的发电效率最高。
- 郑慈航唐刚刘景全尹桂林余震何丹农
- 关键词：超声波振动
