西安市科技计划项目(CXY08009)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
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- 干涉图的预处理技术研究被引量：2
- 2009年
- 提出了一种干涉图预处理的新方法。该方法利用数学形态学的方法对干涉图进行有效区域的边缘提取,利用二维快速傅里叶变换迭代法对干涉图进行区域延拓,并采用非加权离散余弦变换最小二乘算法对干涉图进行波面统一,最终恢复出被测物体的表面面形,为后续结果分析奠定了基础。对一个实际SiO2薄膜样片进行了干涉图的预处理。结果表明,通过该算法得到的干涉图预处理结果,与Zygo干涉仪的分析测试结果基本一致。
- 葛锦蔓苏俊宏
- 关键词：数学形态学最小二乘法
- 干涉图处理技术在膜厚测量中的应用
- 随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、分辨率高、精度高以及操作方便等优点,在精密计量、机械加工控制、电子精密机械设备的精确定位等领域得到了广泛的应用。干涉测量技术的基础和关键是干涉图的处理。通过对干涉图处理技术的研...
- 葛锦蔓苏俊宏
- 文献传递
- 基于双波长激光干涉薄膜厚度的全场测试研究
- 薄膜厚度的全场测试是薄膜制备工艺技术的重要基础,利用双波长激光干涉法可实现薄膜全场厚度的精确测试。介绍了一种双波长激光干涉法全场测试薄膜厚度的系统,建立了膜厚测量的数学模型,提出了小波变换算法进行图像预处理和四步移相等算...
- 杨利红苏俊宏葛锦曼
- 关键词：薄膜厚度
- 文献传递
