武汉市青年科技晨光计划(20035002016-15)
- 作品数：3 被引量：17H指数：2
- 相关作者：杨光周幼华郑启光陆培祥龙华更多>>
- 相关机构：华中科技大学江汉大学更多>>
- 发文基金：武汉市青年科技晨光计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 脉冲激光沉积β-FeSi_2/Si(111)薄膜的工艺条件被引量：11
- 2006年
- 用FeSi2合金靶作为靶材，采用准分子激光沉积法在Si（111）单晶基片上制备了单相的p-FeSi2薄膜，并将飞秒脉冲激光沉积法（PLD）引入到β-FeSi2薄膜的制备工艺中；用X射线衍射仪（XRD），场扫描电镜（FSEM），能谱仪（EDS），紫外可见光光谱仪研究了薄膜的结构、组分、表面形貌和光学性能。基片温度为500℃，采用KrF准分子脉冲激光沉积法可获得单相的β-FeSi2薄膜。衬底温度为550℃时，β-FeSi2出现迷津状薄层。采用飞秒脉冲激光法β-FeSi2薄膜的合成温度比准分子脉冲激光沉积法制备温度低50～100℃；薄膜的晶粒分布均匀连续，没有微米级的微滴；飞秒脉冲激光沉积效率比准分子激光的高1000倍以上，是一种快速高效的β-FeSi2薄膜沉积技术。
- 周幼华陆培祥龙华杨光郑启光
- 关键词：Β-FESI2脉冲激光沉积法飞秒激光
- 飞秒激光沉积β-FeSi_2／Si半导体膜及光学性能研究被引量：2
- 2007年
- 采用飞秒脉冲激光沉积法在Si(100)和Si(111)单晶基片上制备了均匀的单相β-FeSi2薄膜;用X射线衍射(XRD),场扫描电镜(FESEM),能谱仪(EDX),傅立叶红外拉曼谱仪(FTRIS)研究了薄膜的结构、组分、表面形貌和光学性能．观察到了β-FeSi2在Si单晶基片上的生长与晶面取向有关的证据,并在室温(20℃)下观测到β-FeSi2薄膜的光致发光,其发光波长为1．53μm;在氩离子514nm激光的激发下,在192．0和243．9cm-1等位置观察到β-FeSi2的拉曼散射峰．
- 周幼华陆培祥杨光杨义发郑启光
- 关键词：Β-FESI2飞秒
- 飞秒脉冲激光沉积Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究被引量：4
- 2006年
- 采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜．X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm．在500℃沉积的Bi4Ti3O12／Si(111)薄膜呈a轴择优取向．测量了薄膜的电滞回线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的,Ⅰ-Ⅴ特性曲线和铁电性的关联性．a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC／cm2,矫顽力Ec=48kV／cm．
- 周幼华郑启光杨光龙华陆培祥
- 关键词：钛酸铋铁电薄膜
