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甘肃省教育厅科研基金(0903-12)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇FE掺杂
  • 1篇掺杂
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇兰州理工大学

作者

  • 1篇张海峰
  • 1篇王青

传媒

  • 1篇河北师范大学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响
2011年
应用直流磁控溅射方法并结合原位退火工艺,在普通玻璃基片上制备了不同Fe掺杂的TiO2薄膜,沉积过程中保持基底温度300℃.实验结果表明,退火氛围及Fe的掺杂量对TiO2薄膜的结晶状态、微结构及形貌都有很大影响.真空中500℃下退火0.5 h的Fe-TiO2薄膜样品表现为非晶态结构,而空气中500℃下退火0.5 h的该样品则结晶状态良好;随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜样品逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.
王青张海峰
关键词：磁控溅射
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