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上海市科委纳米专项基金(05nm027)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：周虹杉张晓东张峰孙洁林唐雨钊更多>>
相关机构：上海交通大学中国科学院上海应用物理研究所更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇形貌
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇转印
  • 1篇AFM
  • 1篇成像
  • 1篇成像方法

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇吴志华
  • 1篇胡钧
  • 1篇唐雨钊
  • 1篇孙洁林
  • 1篇张峰
  • 1篇张晓东
  • 1篇周虹杉

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法
2006年
软刻蚀技术运用聚二甲基硅氧烷(Poly dimethylsiloxane,PDMS)等聚合物材料制备弹性图章,并用制备好的图章转印图形结构至特定基底。在很多情况下需对模板和弹性图章、图章与转印图形同一位置的形貌进行表征。基于原子力显微镜观测的反向重定位技术提供了一种微观区域内对二维平面互为镜像关系的两种样品的原位对比观测方法。本文利用坐标实时显示的程控高精度样品台系统,联合使用非对称表面标记及坐标镜像复制的定位法,实现了对样品的精确反向重定位成像。
唐雨钊周虹杉张峰吴志华张晓东孙洁林胡钧
关键词：原子力显微镜
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