您的位置： 专家智库 > >

国防科技重点实验室基金(51433020305QT0101)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：吴月花李秀宇李志国刘朋飞郭春生更多>>
相关机构：北京工业大学更多>>
发文基金：国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电迁移
  • 1篇钝化层
  • 1篇应力
  • 1篇互连
  • 1篇互连线
  • 1篇硅基

机构

  • 2篇北京工业大学

作者

  • 2篇李志国
  • 2篇李秀宇
  • 2篇吴月花
  • 1篇朱春节
  • 1篇付厚奎
  • 1篇郭春生
  • 1篇刘朋飞

传媒

  • 2篇半导体技术

年份

  • 2篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
多层金属化系统中的蓄水池效应被引量：1
2007年
对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大。设计了12种不同的蓄水池结构,并进行电迁移实验;考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素。
李秀宇吴月花李志国郭春生刘朋飞朱春节
关键词：互连线电迁移
不同钝化层对硅基铝金属膜应力影响的研究被引量：1
2007年
采用光偏振相移干涉原理测量了硅基上不同钝化层下铝膜应力的变化。研究表明:不同的钝化层对铝膜的应力影响不同。SiO2钝化层下的铝膜应力最小,而钝化层为聚酰亚胺的铝膜应力最大。200℃下退火4 h后,应力减小明显,且分布趋向均匀。同时采用有限元法对不同钝化层的铝膜进行了应力模拟,模拟结果与实验结果相符。
李秀宇吴月花李志国付厚奎
关键词：钝化层应力
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0