兵器工业科研基金项目
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：理学电气工程机械工程更多>>
- 四光路透镜成像系统研究
- 2002年
- 针对现有膜厚监控系统的双平行光路系统和监测光直接照射单色仪入射狭缝的结构 ,提出了四光路透镜成像系统 ,同时采用光纤传光 .实验表明它提高了膜厚监控的稳定性和精度 ,并有较高的性能价格比 .此外从理论上对多光路透镜成像系统的设计和调校进行了定量分析 .
- 许世军任小玲
- 关键词：光纤调校光学薄膜
- 光学镀膜仪静态特性研究被引量：1
- 2006年
- 光学镀膜仪的静态特性是高精度镀膜系统的重要因素。对典型镀膜仪的膜厚监视器的静态漂移数据,采用t检验、回归分析、方差分析、样本标准偏差和不确定度分析等方法获得其静态特性。发现不同预热时间有不同的系统静态特性;建立静态漂移的线性回归、二次回归数学模型,其线性漂移率为-5.5×10-5,二次漂移率为5.02322×10-8;显示值相对于期望曲线的最大偏差为±4×10-3。该静态特性详细、稳定和精确,为镀膜经验控制、膜系修正和自动化系统开发奠定了基础。
- 许世军任小玲
- 关键词：光学薄膜静态特性方差分析
- 光学镀膜仪的监控稳定性研究被引量：1
- 2006年
- 光学镀膜仪的膜厚监控稳定性影响着镀膜的合格率,并且对镀膜经验控制,膜系修正和自动化系统开发有重要的意义。对真空镀膜仪进行4种薄膜系列的膜厚监控实验,建立一套稳定性评价体系,获取镀膜仪的稳定性指标。将修正的方差分析方法、不确定度分析方法、标准偏差与相对偏差方法和线性回归方法等综合起来,用6项指标从各个方面对光学薄膜厚度监控的稳定性做出评判,甚至对膜厚控制精度和特征波长做出分析。实验结果表明:上述的综合评价体系是合理的;多层膜比单层膜的监控稳定性稍差一些,膜层材料对稳定性的影响比较大,膜厚控制精度的标准偏差≤0.45%;薄膜层数对膜厚控制精度没有明显的影响,甚至多层膜比少层膜的控制精度要高,出现了“中心层”效应;用线性回归方法可以估计实际镀膜的特征波长长移量。
- 许世军任小玲
- 关键词：光学薄膜方差分析
- 双光束镀膜系统中的信号优化处理研究
- 2007年
- 为提高光电极值法膜厚监控质量,对微弱光电探测信号设计一套优化的电路处理和数字处理系统。基于双光束镀膜监控思想,提出三级模拟放大电路、双锁相对称放大电路、综合抗干扰技术、数字除法、防脉冲干扰数字滤波、数码显示线性化、剔除奇异数据和ΔR值极值判断等信号综合处理方案。实验表明:电路的测试路输出和参考路输出信噪比均大于500,漂移率≤7%/h;数码显示对反射率响应的灵敏度在整个反射率范围内均比较大,数码显示值的线性回归系数为0.979,低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%;镀膜中极值点监控信号的不确定度至少比通用系统降低1个数量级,漂移率接近于0。采用此方案对微弱膜厚信号的高精度、高稳定性检测大大提高了膜厚监控系统的静态、动态稳定性和膜厚控制精度,膜厚控制的标准偏差为0.55%。
- 许世军任小玲
- 关键词：光学薄膜双光束
