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江西省教育厅青年科学基金(GJJ12575)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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相关机构：赣南师范大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇锐钛矿
  • 1篇金红石
  • 1篇TIO2薄膜
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇MOCVD
  • 1篇MOCVD法

机构

  • 1篇赣南师范大学

作者

  • 1篇谢应茂
  • 1篇张宪科
  • 1篇苑举君
  • 1篇余华军

传媒

  • 1篇赣南师范学院...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
常压MOCVD法制备TiO_2薄膜及性质研究
2012年
利用常压MOCVD法在Si及Al2O3衬底上制备了TiO2薄膜.研究了沉积温度和退火温度对TiO2薄膜结构和形貌的影响,以及TiO2薄膜的光学性质.研究发现,沉积温度为600℃时,制备的TiO2薄膜结构为锐钛矿相,薄膜质量较高.TiO2薄膜在1 090℃高温退火后,薄膜结构完全转变为金红相.TiO2薄膜在可见区域有着高达90%以上透射率,在紫外区域有着强烈的吸收.
苑举君张宪科余华军谢应茂
关键词：TIO2薄膜MOCVD锐钛矿金红石
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