中国科学院知识创新工程重要方向项目(Y072051002)
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
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- 相关机构：中国科学院更多>>
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- 飞秒激光与准分子激光制作碲掺杂硅探测器被引量：6
- 2013年
- 采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-4V的反向偏压下,光电响应在1000nm处达到0.86A/W,外量子效率大于106.6%;随着反向偏压的增加,光电响应增加,同时截止波长向红外方向拓展,在-8V偏压下,截止波长达到了1235nm;在-16V偏压下,测得响应在1080nm处最高达到3.27A/W。
- 王熙元黄永光刘德伟朱小宁王宝军朱洪亮
- 关键词：探测器飞秒激光准分子激光硅探测器
