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基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究被引量：8: 2006年; 提出了基于MEMS技术，将电化学生长的Al2O3膜加工成微双桥结构，并成为Al2O3-Pd-Th0-SiO复合催化剂的载体，实现催化元件和补偿元件的单片集成，制作出LPG传感器．单桥结构尺寸为1mm×1．2mm，厚度为30-35μm，利用铂薄膜制做加热器，并经反溅刻蚀和激光修调，形成标称阻值（0℃）为10Ω的热敏感电阻．传感器性能测试结果表明：微双桥催化LPG传感器具有输出信号与气体浓度呈线性特性，可实现体积分数（500～10000）×10^-6LPG检测，同时，测试了温度范围为10-50℃和湿度范围为10-90％RH的传感器温湿度特性，结果证明：微双桥催化LPG传感器输出最大偏差为1．2mV，相当于体积分数600×10^-6的LPG浓度．; 张洪泉施云波郭建英; 关键词：气体传感器温度

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国家高技术研究发展计划(2005AA404300)