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国家自然科学基金(60576035)
作品数:
1
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2007
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硅基键合InP-InGaAsP量子阱连续激光器的研制
被引量:2
2007年
采用键合技术在Si基上制备了InP-InGaAsP量子阱激光器,实现了电注入室温连续工作.采用低温直接键合的方法,将Si衬底和InP-InGaAsP外延片键合在一起,并制成条宽6μm的脊波导边发射激光器.室温连续工作的1.55μm激光器阈值电流为48mA,对应的阈值电流密度和微分电阻分别为2.13kA/cm2和5.8Ω,在约220mA时输出光功率达15mW.
于丽娟
赵洪泉
杜云
李敬
黄永箴
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直接键合
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