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国家自然科学基金(04JK256)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
翟春雪
闫军锋
张志勇
邓周虎
赵武
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赵武
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邓周虎
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张志勇
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闫军锋
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翟春雪
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1篇
2007
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掺杂N的浓度对SiC薄膜的光敏特性影响(英文)
被引量:2
2007年
在热丝化学汽相沉积(HFCVD)法制备SiC薄膜过程中,研究不同的N掺杂下制备样品的光敏特性.对薄膜在室温和较高温度(410℃)下进行光敏特性测试,结果表明,薄膜的制备工艺参量对其光敏特性有较大影响;较高温度下其敏感特性和室温下测试的结果大体一致;在合适条件下制备的薄膜对不同波长的光有较好的敏感特性.可以看出,SiC薄膜在研究高温光敏器件领域具有很好的应用前景.
赵武
闫军锋
翟春雪
邓周虎
贠江妮
张志勇
关键词:
SIC薄膜
光敏特性
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